VLSI Metallization
Norman G. Einspruch · Simon S. Cohen · Gennady Sh. Gildenblat
thg 12 2014 · VLSI Electronics Microstructure Science Sách 15 · Academic Press
Sách điện tử
490
Trang
family_home
Đủ điều kiện
info
reportĐiểm xếp hạng và bài đánh giá chưa được xác minh Tìm hiểu thêm
Giới thiệu về sách điện tử này
VLSI Electronics Microstructure Science, Volume 15: VLSI Metallization discusses the various issues and problems related to VLSI metallization. It details the available solutions and presents emerging trends. This volume is comprised of 10 chapters. The two introductory chapters, Chapter 1 and 2 serve as general references for the electrical and metallurgical properties of thin conducting films. Subsequent chapters review the various aspects of VLSI metallization. The order of presentation has been chosen to follow the common processing sequence. In Chapter 3, some relevant metal deposition techniques are discussed. Chapter 4 presents the methods of VLSI lithography and etching. Conducting films are first deposited at the gate definition step; therefore, the issues related to gate metallization are discussed next in Chapter 5.In Chapter 6, contact metallization is elaborated, and Chapter 7 is devoted to multilevel metallization schemes. Long-time reliability is the subject of Chapter 8, which discusses the issues of contact and interconnect electromigration. GaAs metallization is tackled in Chapter 9. The volume concludes with a general discussion of the functions of interconnect systems in VLSI. Materials scientists, processing and design engineers, and device physicists will find the book very useful.
Xếp hạng sách điện tử này
Cho chúng tôi biết suy nghĩ của bạn.
Đọc thông tin
Điện thoại thông minh và máy tính bảng
Cài đặt ứng dụng Google Play Sách cho Android và iPad/iPhone. Ứng dụng sẽ tự động đồng bộ hóa với tài khoản của bạn và cho phép bạn đọc trực tuyến hoặc ngoại tuyến dù cho bạn ở đâu.
Máy tính xách tay và máy tính
Bạn có thể nghe các sách nói đã mua trên Google Play thông qua trình duyệt web trên máy tính.
Thiết bị đọc sách điện tử và các thiết bị khác
Để đọc trên thiết bị e-ink như máy đọc sách điện tử Kobo, bạn sẽ cần tải tệp xuống và chuyển tệp đó sang thiết bị của mình. Hãy làm theo hướng dẫn chi tiết trong Trung tâm trợ giúp để chuyển tệp sang máy đọc sách điện tử được hỗ trợ.
