VLSI Metallization
Norman G. Einspruch · Simon S. Cohen · Gennady Sh. Gildenblat
dek 2014 · VLSI Electronics Microstructure Science Kitab 15 · Academic Press
E-kitab
490
Səhifələr
family_home
Uyğundur
info
reportReytinqlər və rəylər doğrulanmır Ətraflı Məlumat
Bu e-kitab haqqında
VLSI Electronics Microstructure Science, Volume 15: VLSI Metallization discusses the various issues and problems related to VLSI metallization. It details the available solutions and presents emerging trends. This volume is comprised of 10 chapters. The two introductory chapters, Chapter 1 and 2 serve as general references for the electrical and metallurgical properties of thin conducting films. Subsequent chapters review the various aspects of VLSI metallization. The order of presentation has been chosen to follow the common processing sequence. In Chapter 3, some relevant metal deposition techniques are discussed. Chapter 4 presents the methods of VLSI lithography and etching. Conducting films are first deposited at the gate definition step; therefore, the issues related to gate metallization are discussed next in Chapter 5.In Chapter 6, contact metallization is elaborated, and Chapter 7 is devoted to multilevel metallization schemes. Long-time reliability is the subject of Chapter 8, which discusses the issues of contact and interconnect electromigration. GaAs metallization is tackled in Chapter 9. The volume concludes with a general discussion of the functions of interconnect systems in VLSI. Materials scientists, processing and design engineers, and device physicists will find the book very useful.
Bu e-kitabı qiymətləndirin
Fikirlərinizi bizə deyin
Məlumat oxunur
Smartfonlar və planşetlər
Android və iPad/iPhone üçün Google Play Kitablar tətbiqini quraşdırın. Bu hesabınızla avtomatik sinxronlaşır və harada olmağınızdan asılı olmayaraq onlayn və oflayn rejimdə oxumanıza imkan yaradır.
Noutbuklar və kompüterlər
Kompüterinizin veb brauzerini istifadə etməklə Google Play'də alınmış audio kitabları dinləyə bilərsiniz.
eReader'lər və digər cihazlar
Kobo eReaders kimi e-mürəkkəb cihazlarında oxumaq üçün faylı endirməli və onu cihazınıza köçürməlisiniz. Faylları dəstəklənən eReader'lərə köçürmək üçün ətraflı Yardım Mərkəzi təlimatlarını izləyin.
