Denise Reichel studies the delicate subject of temperature measurement during lamp-based annealing of semiconductors, in particular during flash lamp annealing. The approach of background-correction using amplitude-modulated light to obtain the sample reflectivity is reinvented from rapid thermal annealing to apply to millisecond annealing. The author presents a new method independent of the lamp operation to obtain this amplitude modulation and derives a formula to describe the process. Further, she investigates the variables of the formula in depth to validate the method’s suitability for background-corrected temperature measurement. The experimental results finally proof its power for elevated temperatures.
Оцени и рецензии
5,0
2 рецензии
5
4
3
2
1
За авторот
Dr. Denise Reichel currently works in technical sales and consulting for temperature measurement needs and as a lecturer for thermodynamics and heat and mass transfer.
Може да слушате аудиокниги купени од Google Play со користење на веб-прелистувачот на компјутерот.
Е-читачи и други уреди
За да читате на уреди со е-мастило, како што се е-читачите Kobo, ќе треба да преземете датотека и да ја префрлите на уредот. Следете ги деталните упатства во Центарот за помош за префрлање на датотеките на поддржани е-читачи.