Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications
Hiroyuki Fujiwara
2007 թ. սեպ · John Wiley & Sons
5,0star
1 կարծիքreport
Էլ. գիրք
392
Էջեր
reportԳնահատականները և կարծիքները չեն ստուգվում Իմանալ ավելին
Այս էլ․ գրքի մասին
Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE). Beginning with an overview of SE technologies the text moves on to focus on the data analysis of results obtained from SE, Fundamental data analyses, principles and physical backgrounds and the various materials used in different fields from LSI industry to biotechnology are described. The final chapter describes the latest developments of real-time monitoring and process control which have attracted significant attention in various scientific and industrial fields.
Գնահատականներ և կարծիքներ
5,0
1 կարծիք
Հեղինակի մասին
Dr Hiroyuki Fujiwara is based at the National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Ibaraki, Japan. He received his PhD at the Tokyo Institute of Technology in 1996 and carried out post-doctoral research with Professor R.W. Collins at Penn State University. From 1998 to present he has been working as a senior research scientist at the Research Center for Photovoltaics at NIAIST. He received the 'Most Promising Young Scientist Award' from the Japan Society of Applied Physics and the 'Young Researcher Award' at the World Conference on Photovoltaic Energy Conversion in 2003.
Գնահատեք էլ․ գիրքը
Կարծիք հայտնեք։
Տեղեկություններ
Սմարթֆոններ և պլանշետներ
Տեղադրեք Google Play Գրքեր հավելվածը Android-ի և iPad/iPhone-ի համար։ Այն ավտոմատ համաժամացվում է ձեր հաշվի հետ և թույլ է տալիս կարդալ առցանց և անցանց ռեժիմներում:
Նոթբուքներ և համակարգիչներ
Դուք կարող եք լսել Google Play-ից գնված աուդիոգրքերը համակարգչի դիտարկիչով:
Գրքեր կարդալու սարքեր
Գրքերը E-ink տեխնոլոգիան աջակցող սարքերով (օր․՝ Kobo էլեկտրոնային ընթերցիչով) կարդալու համար ներբեռնեք ֆայլը և այն փոխանցեք ձեր սարք։ Մանրամասն ցուցումները կարող եք գտնել Օգնության կենտրոնում։
